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エアー駆動式 樹脂製ダイアフラムポンプ Almatec

特徴

エアー駆動式ダイアフラムポンプが持つ優れた特性をそのままに、完全なオイルレスと確実な作動を実現。専用の脈動防止ダンパーはポンプと一体型にする事ができ、極低脈動化を実現します。 半導体プロセスに対応した『FUTUR』シリーズはクラス100のクリーンルーム内でのポンプ洗浄、組み付け、テストを行うウルトラピュアポンプです。

用途毎に7種のタイプをラインナップしており、ケミカル・バイオケミカル、半導体業界等で各種薬品、腐食性液、酸・アルカリ、溶剤の供給・搬送に最適です。

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仕様

Eシリーズ

●1/4"、3/8"、1/2"、1"、2"の6サイズをラインナップ
●流量10ℓ/min~530ℓ/min(最大吐出圧:0.6MPa)
●少ない部品点数
●PTFE若しくはPE削り出し構造で堅牢なハウジング
●低騒音
●最高使用温度:120℃
●一体型ダイアフラム採用でダイアフラムディスク不要
●中間停止なし 長寿命エアーバルブ採用
各種薬品、腐食性液体、酸・アルカリ、溶剤の搬送に適します。

概略仕様

FUTUR シリーズ
●半導体業界におけるフォトレジスト・CMPスラリー・薬品搬送、フィルタレーション用途。
●3/8"、1/2"、1"、1.1/2"の4サイズをラインナップ
●流量10ℓ/min~100ℓ/min(最高吐出圧:0.6MPa)
●一体型脈動防止ダンパー装着で無脈動を実現。
●クラス100クリーンルーム内にて洗浄・組み付け、テストを実施
●最高使用温度:200℃



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