気体用パーティクルカウンター

クリーンルーム集中監視システム

ジャパンマシナリー�鰍ﾍ、ＣＬＩＭＥＴのパーティクルカウンターでクリーンルームのモニタリングシステムの
方式や仕様を適切にアドバイスさせていただきます

＜センサ方式モニタリングシステム＞

　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　小型リモートセンサ　　ＣＩ−３１００（ＲＳ）
　
　 ・吸引ポンプを内蔵せず、外部真空源を利用した　小型・低コスト化実現した
　　　システムです

　　・ＲＳ−４８５出力モデルと４−２０ｍＡ出力モデルがあります

　　・０．３／０．５又は０．５／５．０μｍの２粒径を常時測定

　　・吸引量、測定粒径により選べる全８モデルの豊富なバリエーション

　　・光源・吸引量状態をリモートで監視

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　データ収集ユニット　ＣＩ−３１１０（ＳＰＵ）
　 　・最大１０台までのＣＩ−３１００（ＲＳ）への電源供給、通信ができます

　 　　・温度、湿度、差圧及び風速等アナログ出力センサ１０台のデータ収集

　 　　・ＲＳ−４８５を使用すれば、制御監視用パソコンから３２０台のリモート
　 　　　センサとアナログ出力センサのデータ収集が可能

　 　　・大規模なモニタリングシステムの構築ができます

　　　　　　　　センサ／トランスデューサ　ＣＩ−３１００（ＯＰＴ）
　　　・吸引ポンプ、マスフローコントローラ内蔵

　　　　・測定データを４−２０ｍＡに変換して出力するリモート専用

　　　　・内部メモリに最新１分間のデータを保持

　　　　・アナログ出力によりレコーダ、データロガー及びＰＬＣ等汎用機器でも
　　　　　容易にデータ収集が可能

　 　　 ・吸引量、粒径により全６モデルの機種があります

　　　　・光源、吸引量を常時監視し、異常信号の出力が可能